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2007/11/19
今回の装置は,ウエーハ・エッジ検査後に走査型電子顕微鏡(SEM)によるミクロ検査が必要な場合を想定して,角度や断面座標などの欠陥位置情報をデータ出力できるようにしている。こうしたエッジ部の情報を詳細に調べる必要性が高まっていることから,エッジ部の検査領域を任意の数に分割して検査したり,任意の場所だけを検査できるようにした。... [Tech On! (会員登録）] 続きを見る ... 【セミコン・プレビュー】液浸露光に対応して機能を強化,レイテックスの Posted at 19:08 | この記事のURL | SEM |
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